碳化硅-三角形缺陷

客户需求

需要检测出碳化硅上的三角形缺陷

方案选型

观察方式：暗场
镜筒：高清镜筒（像方28mm）
镜头：10X高分辨率物镜
光源：PL

技术难点

难点：缺陷需要在特殊光源下才能观察到
解决方案：使用PL光源

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碳化硅SiC