氮化镓-划痕缺陷

客户需求

需要检测出氮化镓上的划痕缺陷

方案选型

观察方式：暗场
镜筒：大视野镜筒（像方40mm）
镜头：5X大视野物镜
光源：暗场环形光源

技术难点

难点：需要高效率的扫描方式
解决方案：使用大视野镜筒配合线扫的方式

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氮化镓GaN