有图晶圆-线路检测

客户需求

需要检测出有图晶圆上的线路是否有损伤

方案选型

观察方式：明场
镜筒：大视野镜筒（像方40mm）
镜头：10X大视野物镜
光源：LED点光源

技术难点

难点：需要高效率的扫描方式
解决方案：使用大视野镜筒配合线扫的方式，再使用面阵复判缺陷

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有图晶圆