无图晶圆-桔皮缺陷

客户需求

需要检测出无图晶圆上的桔皮缺陷

方案选型

观察方式：DIC
镜筒：LCD镜筒（像方28mm）
镜头：10X标准物镜
光源：LED点光源

技术难点

难点：观察效果不明显
解决方案：使用LCD镜筒

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无图晶圆