Customer Cases

碳化硅-三角形缺陷

客户需求

 

需要检测出碳化硅上的三角形缺陷

 

方案选型

 

观察方式:暗场
镜筒:高清镜筒(像方28mm)
镜头:10X高分辨率物镜
光源:PL

 

技术难点

 

难点:缺陷需要在特殊光源下才能观察到
解决方案:使用PL光源

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