Customer Cases

有图晶圆-氧化检测

客户需求

 

需要检测出有图晶圆上的氧化缺陷

 

方案选型

 

观察方式:明场
镜筒:大视野镜筒(像方40mm)
镜头:5X大视野物镜
光源:LED点光源

 

技术难点

 

难点:需要高效率的扫描方式
解决方案:使用大视野镜筒配合线扫的方式,再使用面阵复判缺陷

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