Customer Cases

无图晶圆-爪裂缺陷

客户需求

 

需要检测出无图晶圆上的爪裂缺陷

 

方案选型

 

观察方式:暗场
镜筒:大视野镜筒(像方40mm)
镜头:10X大视野物镜
光源:暗场冷光源

 

技术难点

 

难点:常规观察方式缺陷不明显
解决方案:使用暗场冷光源

内容详情

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