| 类型 | 型号 | 最大负载(kg) | 行程(mm) | 重复精度(μm) | 最大速度(mm/sec) | 最大加速度(mm/s²) | 最高分辨率(μm/step) | 自重(kg) | 应用 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 分离式Z轴 | ZMH-FZ-S-6012 | 3.5 | ±6 | ±0.5 | 10 | 100 | 0.156 | 0.8 | Z轴带单颗物镜运动对焦 |
| ZMH-FZ-S-DOF | 0.9 | ±2.5 | ±0.025（500nm移动） | 30 | 6000 | 1.25nm反馈分辨率:30，5nm反馈分辨率:125 | 0.5 | Z轴带单颗物镜运动对焦 |
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