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分离式Z轴

负载超过9kg可以选用分离式Z轴

高精度滑台±0.15um

行程±5mm

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类型	型号	最大负载(kg)	行程(mm)	重复精度(μm)	最大速度(mm/sec)	最大加速度(mm/s²)	最高分辨率(μm/step)	自重(kg)	应用
分离式Z轴	ZMH-FZ-S-6012	3.5	±6	±0.5	10	100	0.156	0.8	Z轴带单颗物镜运动对焦
分离式Z轴	ZMH-FZ-S-DOF	0.9	±2.5	±0.025（500nm移动）	30	6000	1.25nm反馈分辨率:30，5nm反馈分辨率:125	0.5	Z轴带单颗物镜运动对焦

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