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类型 |
静态精度 |
重复定位精度 |
切换速度 |
支持物镜孔数 |
支持物镜倍率 |
通讯方式 |
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直线式 |
高精度版本 |
±50nm |
±0.2um |
60-100mm/s |
2-7孔 |
2-50X |
RS232 |
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防抖动版本 |
±25nm |
±0.15um |
60-100mm/s |
2-7孔 |
2-100X |
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手机号格式不对
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