激光自动对焦

激光自动对焦

  1. 稳定成像输出:实时感知样品高度变化,并联动 Z 轴完成焦点补偿,帮助设备在连续扫描中保持清晰稳定的图像输入。

  2. 精准焦点定位:对焦检测位置贴近显微成像区域,可为高倍率检测、晶圆局部结构观察和精密量测提供更准确的焦点信息。

  3. 高速实时追焦:最高 5000 Hz 内部更新频率,可持续刷新焦点状态,适配晶圆、面板和精密工件的高速扫描检测需求。

  4. 快速自动找焦:首次对焦时间小于 0.1 秒,适合换片、换点和区域切换后的快速找焦,提升自动化批量检测效率。

  5. 一体化易集成:集成光学、控制、算法,支持千兆以太网通讯,可快速接入自动化检测设备。

产品参数 在线咨询
型号 i-ATF-L450 i-ATF-L660 i-ATF-L785 i-ATF-L850
激光波长(nm) 450 660 785 850
激光安全等级 3B Ⅰ 3B 3B
通讯方式 千兆网口
结构光模式 线段
对焦方式 同轴激光自动对焦系统
对焦速度 首次对焦时间小于 0.1s,后续实时追焦
内部更新频率(Hz) 5000(Max)
静态对焦精度 ±1/4 物镜景深或更好
动态对焦精度 ±1/2 物镜景深或更好
工作温度 0-50℃
外形尺寸(mm) 57 × 50 × 133
供电及功耗 24V 直流供电,功耗 4.8W
重量(g) 792
样品反射率 1% - 99%
对焦工作范围(μm) ±20000(2X 物镜)
±12000(5X 物镜)
±12000(10X 物镜)
±6000(20X 物镜)
±500(50X 物镜)
±150(100X 物镜)
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