广东慧普光学科技有限公司

关于我们

关于慧普光学

慧普光学成立于2024年，是一家专注于半导体显微成像技术研发的科技型企业。公司由中科慧仪、沃德普、奥特光学联合成立，汇聚了高速成像与光电领域的领军科学家、尖端科研人员及经验丰富的行业专家，核心成员拥有20年以上光学设计和加工经验。

公司产品的核心组件:镜筒、物镜、照明、对焦、Z轴及切换器全部自主研发生产，全供应链、全栈技术自主可控。

慧普光学始终将技术创新视为企业发展的核心，不断探索前沿技术，致力于为客户呈现细节清晰、特征鲜明的高品质图像。

我们的优势

Step01

具有竞争力的成像解决方案

技术创新与差异化 | 精准定位市场需求 | 全流程效率优化

Step02

高效的显微定制服务

深入了解客户需求 | 提供专业的建议和设计方案 | 提供优质的售后服务

Step03

产品的稳定性及一致性

严格的质量管理体系 | 对产品进行持续改进 | 产品多重测试

鸿鹄自动对焦成像系统的六大模块

镜筒模块
物镜模块
对焦模块
切换器模块
Z轴模块
照明模块

镜筒模块

大视野镜筒，最大支持像方40mm, 完美适配8K/5um 和65M相机

高分辨率镜筒，物方最高分辨率可达0.4um

可选配同轴激光追焦系统，实现对高速运动成像实时对焦

可选配高速图像对焦系统，解决复杂背景情况下激光无法准确聚焦的问题

同轴科勒照明，外接点光纤及高亮冷光源，可支持面阵相机曝光时间5us以内

推拉式高精度切换器也可支持像方40mm 大视野

可定制暗场照明角度，适应不同应用场景

物镜模块

大视野物镜(像方支持40mm）

高分辨率物镜(像方支持28mm)

近红外物镜(像方支持28mm)

对焦模块

集成化设计：激光器、光学、运动控制与算法紧密集成，提升系统整体性能

超⾼速对焦：最⾼采集频率⽀持800fps，实现⾼精度实时追焦

⼯业级通讯：⾼速以太⽹通讯，强抗⼲扰，确保稳定可靠

多应⽤场景：适⽤于显⽰⾯板、⽆图晶圆、有图晶圆及⽣命科学等多领域

切换器模块

推拉式与转盘式物镜切换器可选，满足于不同项目与应用场景

可搭配大视野物镜、高分辨率物镜及其它品牌齐焦距95mmAPO 物镜

保证高水平的准确性以及可重复性

推拉式高精度版本可支持像方视野40mm

Z轴模块

负载不超过9kg可以选用整体式Z轴

负载超过9kg可以选用分离式Z轴

高精度滑台±0.5um

行程±25mm

照明模块

控制器与灯箱一体式与分离式可供选择，其中分离式模组可一拖二，快速灵活构建满足客户需求的照明系统

支持手动面板、网口通讯、PLC 以及I/0控制光源亮度

可根据客户需求搭载电动滤光转换器及配套滤光镜定制化服务

借助优异的结构散热设计方案，产品使用寿命超过2万小时

一体式灯箱模组超高亮度输出，支持超短曝光时间2us稳定成像，并且搭载智能反馈调节功能，确保光源输出稳定性

鸿鹄自动对焦成像系统

物镜切换以及对焦演示

自动对焦的优势分析

1.应对晶圆微小缺陷和结构的高精度需求

晶圆表面的缺陷（如划痕、污渍、裂纹）和内部细微结构（如电路布局、晶体管）的检测要求达到微米甚至亚微米级的分辨率。传统显微系统因景深不足、视野受限等问题，难以满足高速运动下的稳定对焦需求。
自动对焦显微系统通过激光技术实时追踪晶圆表面的高度变化，并调整物镜焦距，确保图像始终清晰。
2.解决晶圆形变与高速扫描的挑战

晶圆在制造过程中可能出现几百微米的形变，而传统物镜的最小景深可能小于1微米，导致高速成像时失焦。自动对焦系统（如“鸿鹄”系统）通过同轴激光追焦和5kHz脉冲信号，实时调整Z轴位置，在高速运动中保持对焦稳定性，大幅提升检测效率。
此外，大视野显微系统适配高分辨率相机（如8K线阵相机），减少扫描次数，进一步缩短检测时间。
3.非接触式检测保障晶圆安全性

晶圆材质脆弱，传统接触式检测可能引入损伤或污染。激光自动对焦系统通过非接触方式完成检测，避免物理接触带来的风险，同时兼容可见光与短波红外成像，适应多种检测场景。
4.提升光刻工艺的实时监测能力

光刻是半导体制造的关键步骤，自动对焦系统可实时监控图案的准确性和一致性。
5.模块化设计与多场景适应性

现代自动对焦系统（如“鸿鹄”）采用模块化设计，支持可见光、红外成像及偏光/DIC模式，可根据需求快速组装样机。例如，兼容400-1300nm波段的显微系统，可同时满足常规检测和特殊材料分析需求。
6.总结

自动对焦显微系统通过高精度追踪、非接触式检测、高速响应和多场景兼容性，成为晶圆检测不可或缺的技术。它不仅提升了缺陷识别效率和工艺稳定性，还降低了生产成本与不良品率，是半导体制造迈向智能化、自动化的关键工具。